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半導(dǎo)體無塵車間安全工作規(guī)范?鴻潔源詳情021-69116303

發(fā)布時間:2023-03-20人氣:178

關(guān)于如何開啟潔凈空調(diào)、多久更換一次空氣過濾器等一系列工作,鴻潔源潔凈為潔凈車間制定了一套設(shè)備開啟和維護(hù)計(jì)劃。

1.步入無塵車間的準(zhǔn)備工作;1.進(jìn)入潔凈車間前,必須經(jīng)過凈化工程公司的專業(yè)培訓(xùn)。2.進(jìn)入潔凈車間嚴(yán)禁吸煙、吃(喝)東西和吃東西。外來雜物(如報(bào)紙、雜志、鉛筆等。)不準(zhǔn)帶入,嚴(yán)禁亂跑,互相聊天。3.進(jìn)入潔凈室前,在指定地點(diǎn)脫鞋,鞋子放在鞋柜里,外套放在衣柜里,個人物品放在私柜里,柜子里不要放食物。4.進(jìn)入潔凈室前,必須先在更衣室按規(guī)定和程序戴好口罩、無塵帽、無塵衣、鞋套,然后在空氣潔凈室洗去灰塵,踩上除塵地毯(潔凈室地板上)后才能進(jìn)入。5.戴口罩時,口罩要戴在鼻子上,蓋住嘴和鼻孔,以免呼吸時污染芯片。6.穿干凈衣服時,要先整理好衣服和頭發(fā),再戴干凈帽子,以免穿干凈衣服后感到不舒服。7.梳洗完畢,先戴上無塵帽。無塵帽的佩戴原則是:(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi),不能外露。(2)無塵帽的下擺要均勻的鋪在肩膀上。穿上工作服后,下擺不會掉出來,露出肩膀和脖子。8.戴好無塵帽后,穿上無塵服。無塵服要大小合適,避免褲腿或短袖暴露皮膚的風(fēng)險(xiǎn)。穿衣時注意保持帽檐平整,無塵服不可反穿。凈網(wǎng)-] R10W3360W9 * 42BV9。穿上干凈的衣服后,套上鞋套,拉起鞋套,把鞋套放平,真正蓋住褲腿。10.戴手套時,應(yīng)避免徒手接觸手套的手掌和指尖(防止鈉離子污染)。戴上手套后,要把手套的手腕套在袖子里,隔離污染源。1.干凈的衣服穿戴妥當(dāng)后,洗完灰塵,踩上防塵毯,才能進(jìn)入潔凈室。12.無論進(jìn)出潔凈室,都要按規(guī)定在更衣室脫干凈衣服,在其他區(qū)域不能脫,尤其是在潔凈室行走時。13.無塵衣物、鞋套等。應(yīng)該定期清洗。如果損壞,應(yīng)在離線時立即更換。14.脫干凈衣服時,順序與穿衣服時相反。15.脫下無塵服,掛在更衣室上層柜子里;鞋套要放在懸掛的無塵服下面。16.更衣室內(nèi),除干凈衣服等指定物品外,不得放置其他物品。17.除規(guī)定的紙張和物品外,其他物品不得帶入潔凈室。18.無塵衣物等。不得從潔凈室中取出,并在使用后放置在指定的地方。19.口罩和手套可根據(jù)情況自行保留或重復(fù)使用。20.任何進(jìn)入潔凈室的東西都必須用清潔劑擦拭干凈。21.任何設(shè)備進(jìn)入請通知經(jīng)理,進(jìn)入前在潔凈室外擦拭干凈。22.檢驗(yàn)不合格的儀器禁止使用。在緊急情況下,可以按照緊急處理步驟進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚恚珀P(guān)閉水、電、氣的開關(guān)。

23.千萬不要在潔凈室用火,以免發(fā)生意外。2.潔凈室操作說明1。處理芯片時,必須戴無纖維手套,使用清潔的鑷子夾住芯片,不要用手指或其他任何東西接觸芯片。被觸摸和污染的芯片必須清洗干凈后才能再次使用:(1)如果任何鑷子的前端(即夾持芯片的那一端)被觸摸,或者鑷子掉到地上,都必須清洗干凈。不要用紙巾或布擦拭臟鑷子。(2)如果在清洗后和下一個程序之前用手指觸摸芯片,必須再次清洗。(3)當(dāng)芯片放在應(yīng)時舟上準(zhǔn)備放入爐管時,如果發(fā)現(xiàn)所用的鑷子污損或芯片上有明顯的鑷子污染,必須再次清洗芯片,并立即更換干凈的鑷子。2.芯片一定要放在盒子里,蓋好,存放在指定的位置,盡量不要暴露。3.避免對著芯片說話,防止口水濺到芯片上。在芯片進(jìn)入擴(kuò)散爐之前,請?zhí)貏e注意防止上述動作。如果芯片沾有纖維屑,用氮?dú)鈽寚姟?.從聚四氟乙烯晶舟、應(yīng)時晶舟等載體上取出芯片時。時,芯片必須垂直舉起,以免刮傷芯片。只有當(dāng)顯微鏡鏡頭遠(yuǎn)離芯片時,才能將芯片從吸座中取出。5.如果芯片上生長了氧化層,在將芯片送到黃燈室之前,不要用金剛石刀在芯片上雕刻。6.操作時,無論是否戴手套,絕對不能將手放入洗滌槽中。7.當(dāng)使用化學(xué)工作站或烤箱處理芯片時,請確保將芯片放在特氟隆水晶舟內(nèi),不要使用塑料盒。8.將芯片放在應(yīng)時舟上時,如果芯片掉到地上或手上,必須再次清洗,然后放入氧化爐中。9.請不要觸摸芯片盒的內(nèi)部。如果被碰過或被碎屑污染,必須再次清洗。10.手套、廢紙和其他雜物不應(yīng)留在控制臺內(nèi)。如果手套燒焦、磨損或纖維質(zhì)量改變,必須更換。11.在沒有說明的情況下,切勿打開不熟悉的儀器和各種開關(guān)閥控制旋鈕或手柄。12.如發(fā)現(xiàn)溶液有異味或異常反應(yīng)、顏色、聲音等,請立即通知相關(guān)人員。13.當(dāng)儀器因操作失誤而損壞時,務(wù)必立即通知負(fù)責(zé)人或老師。14.芯片箱進(jìn)出潔凈室必須保持清潔,并用保鮮膜密封,違者不得入內(nèi)。15.所有潔凈室應(yīng)使用圓珠筆和干凈的筆記本做記錄,一般紙張和鉛筆不得帶入。3.黃燈區(qū)域1的操作說明。濕度和溫度會影響校準(zhǔn)工作。注意黃燈區(qū)域的溫度和濕度,減少對準(zhǔn)機(jī)附近的人數(shù),減少濕度和溫度的變化。2.光刻膠未曝光的芯片不要出黃光區(qū),以免感光。3.光刻膠已經(jīng)裝好,等待對準(zhǔn)曝光的芯片要放在不透明的藍(lán)黑色水晶盒里,盒蓋一定要蓋好。4.使用面膜時,應(yīng)取邊緣,不可觸摸面膜表面。在任何情況下,口罩的鉻膜都不能與其他物體接觸,以防劃傷,口罩的灰塵可以用氮?dú)鈽尨档簟?.曝光時避免眼睛直視曝光機(jī)的汞燈。鑷子使用說明1。進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后,取鑷子前要戴上手套,以免污染。2.只有干凈的鑷子才能用來夾住芯片。鑷子一旦掉落或被手碰到,或被其他原因污染,一定要清洗干凈。

洗,方可再使用。
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