關(guān)于如何開(kāi)啟潔凈空調(diào)、多久更換一次空氣過(guò)濾器等一系列工作，鴻潔源潔凈為潔凈車間制定了一套設(shè)備開(kāi)啟和維護(hù)計(jì)劃。

一、步入無(wú)塵車間的準(zhǔn)備工作；

1.進(jìn)入潔凈車間前，必須經(jīng)過(guò)凈化工程公司的專業(yè)培訓(xùn)。

2.進(jìn)入潔凈車間嚴(yán)禁吸煙、吃(喝)東西和吃東西。外來(lái)雜物(如報(bào)紙、雜志、鉛筆等。)不準(zhǔn)帶入，嚴(yán)禁亂跑，互相聊天。

3.進(jìn)入潔凈室前，在指定地點(diǎn)脫鞋，鞋子放在鞋柜里，外套放在衣柜里，個(gè)人物品放在私柜里，柜子里不要放食物。

4.進(jìn)入潔凈室前，必須先在更衣室按規(guī)定和程序戴好口罩、無(wú)塵帽、無(wú)塵衣、鞋套，然后在空氣潔凈室洗去灰塵，踩上除塵地毯(潔凈室地板上)后才能進(jìn)入。

5.戴口罩時(shí)，口罩要戴在鼻子上，蓋住嘴和鼻孔，以免呼吸時(shí)污染芯片。

6.穿干凈衣服時(shí)，要先整理好衣服和頭發(fā)，再戴干凈帽子，以免穿干凈衣服后感到不舒服。

7.梳洗完畢，先戴上無(wú)塵帽。無(wú)塵帽的佩戴原則是：

(1)頭發(fā)必須完全覆蓋在帽內(nèi)，不能外露。(2)無(wú)塵帽的下擺要均勻的鋪在肩膀上。穿上工作服后，下擺不會(huì)掉出來(lái)，露出肩膀和脖子。

8.戴好無(wú)塵帽后，穿上無(wú)塵服。無(wú)塵服要大小合適，避免褲腿或短袖暴露皮膚的風(fēng)險(xiǎn)。穿衣時(shí)注意保持帽檐平整，無(wú)塵服不可反穿。凈網(wǎng)-] R10W3360W9 * 42BV9。

9.穿上干凈的衣服后，套上鞋套，拉起鞋套，把鞋套放平，真正蓋住褲腿。

10.戴手套時(shí)，應(yīng)避免徒手接觸手套的手掌和指尖(防止鈉離子污染)。戴上手套后，要把手套的手腕套在袖子里，隔離污染源。

11.干凈的衣服穿戴妥當(dāng)后，洗去灰塵，踩上防塵毯，才能進(jìn)入潔凈室。

12.無(wú)論進(jìn)出潔凈室，都要按規(guī)定在更衣室脫干凈衣服，在其他區(qū)域不能脫，尤其是在潔凈室行走時(shí)。

13.無(wú)塵衣物、鞋套等。應(yīng)該定期清洗。如果損壞，應(yīng)在離線時(shí)立即更換。

14.脫干凈衣服時(shí)，順序與穿衣服時(shí)相反。

15.脫下無(wú)塵服，掛在更衣室上層柜子里；鞋套要放在懸掛的無(wú)塵服下面。

16.更衣室內(nèi)，除干凈衣服等指定物品外，不得放置其他物品。

17.除規(guī)定的紙張和物品外，其他物品不得帶入潔凈室。

18.無(wú)塵衣物等。不得從潔凈室中取出，并在使用后放置在指定的地方。

19.口罩和手套可根據(jù)情況自行保留或重復(fù)使用。

20.任何進(jìn)入潔凈室的東西都必須用清潔劑擦拭干凈。

21.任何設(shè)備進(jìn)入請(qǐng)通知經(jīng)理，進(jìn)入前在潔凈室外擦拭干凈。

22.檢驗(yàn)不合格的儀器禁止使用。在緊急情況下，可以按照緊急處理步驟進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚恚珀P(guān)閉水、電、氣的開(kāi)關(guān)。

23.千萬(wàn)不要在潔凈室用火，以免發(fā)生意外。

二、潔凈室操作說(shuō)明：

1、處理芯片時(shí)，必須戴無(wú)纖維手套，使用清潔的鑷子夾住芯片，不要用手指或其他任何東西接觸芯片。被觸摸和污染的芯片必須清洗干凈后才能再次使用：

(1)如果任何鑷子的前端(即夾持芯片的那一端)被觸摸，或者鑷子掉到地上，都必須清洗干凈。不要用紙巾或布擦拭臟鑷子。

(2)如果在清洗后和下一個(gè)程序之前用手指觸摸芯片，必須再次清洗。

(3)當(dāng)芯片放在應(yīng)時(shí)舟上準(zhǔn)備放入爐管時(shí)，如果發(fā)現(xiàn)所用的鑷子污損或芯片上有明顯的鑷子污染，必須再次清洗芯片，并立即更換干凈的鑷子。

2.芯片一定要放在盒子里，蓋好，存放在指定的位置，盡量不要暴露。

3.避免對(duì)著芯片說(shuō)話，防止口水濺到芯片上。在芯片進(jìn)入擴(kuò)散爐之前，請(qǐng)?zhí)貏e注意防止上述動(dòng)作。如果芯片沾有纖維屑，用氮?dú)鈽寚姟?/span>

4.從聚四氟乙烯晶舟、應(yīng)時(shí)晶舟等載體上取出芯片時(shí)。時(shí)，芯片必須垂直舉起，以免刮傷芯片。只有當(dāng)顯微鏡鏡頭遠(yuǎn)離芯片時(shí)，才能將芯片從吸座中取出。

5.如果芯片上生長(zhǎng)了氧化層，在將芯片送到黃燈室之前，不要用金剛石刀在芯片上雕刻。

6.操作時(shí)，無(wú)論是否戴手套，絕對(duì)不能將手放入洗滌槽中。

7.當(dāng)使用化學(xué)工作站或烤箱處理芯片時(shí)，請(qǐng)確保將芯片放在特氟隆水晶舟內(nèi)，不要使用塑料盒。

8.將芯片放在應(yīng)時(shí)舟上時(shí)，如果芯片掉到地上或手上，必須再次清洗，然后放入氧化爐中。

9.請(qǐng)不要觸摸芯片盒的內(nèi)部。如果被碰過(guò)或被碎屑污染，必須再次清洗。

10.手套、廢紙和其他雜物不應(yīng)留在控制臺(tái)內(nèi)。如果手套燒焦、磨損或纖維質(zhì)量改變，必須更換。

11.在沒(méi)有說(shuō)明的情況下，切勿打開(kāi)不熟悉的儀器和各種開(kāi)關(guān)閥控制旋鈕或手柄。

12.如發(fā)現(xiàn)溶液有異味或異常反應(yīng)、顏色、聲音等，請(qǐng)立即通知相關(guān)人員。

13.當(dāng)儀器因操作失誤而損壞時(shí)，務(wù)必立即通知負(fù)責(zé)人或老師。

14.芯片箱進(jìn)出潔凈室必須保持清潔，并用保鮮膜密封，違者不得入內(nèi)。

15.所有潔凈室應(yīng)使用圓珠筆和干凈的筆記本做記錄，一般紙張和鉛筆不得帶入。

三、黃燈區(qū)域1的操作說(shuō)明：

1.濕度和溫度會(huì)影響校準(zhǔn)工作。注意黃燈區(qū)域的溫度和濕度，減少對(duì)準(zhǔn)機(jī)附近的人數(shù)，減少濕度和溫度的變化。

2.光刻膠未曝光的芯片不要出黃光區(qū)，以免感光。

3.光刻膠已經(jīng)裝好，等待對(duì)準(zhǔn)曝光的芯片要放在不透明的藍(lán)黑色水晶盒里，盒蓋一定要蓋好。

4.使用面膜時(shí)，應(yīng)取邊緣，不可觸摸面膜表面。在任何情況下，口罩的鉻膜都不能與其他物體接觸，以防劃傷，口罩的灰塵可以用氮?dú)鈽尨档簟?/span>

5.曝光時(shí)避免眼睛直視曝光機(jī)的汞燈。

鑷子使用說(shuō)明：1.進(jìn)入實(shí)驗(yàn)室后，取鑷子前要戴上手套，以免污染。

2.只有干凈的鑷子才能用來(lái)夾住芯片。一旦鑷子掉在地上或者被手碰到，或者因?yàn)槠渌虮晃廴?/span>必須拿去清洗，方可再使用。

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