潔凈室：.空氣中懸浮顆粒濃度受控的房間其建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)感應(yīng)和滯留顆粒。其他室內(nèi)參數(shù)如溫度、濕度和壓力根據(jù)需要進(jìn)行控制。
現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)：GB ?50073-2013《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》。
各種條件下微塵狀況
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塵埃粒子直徑的示意圖：
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灰塵又是如何產(chǎn)生的呢？
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作業(yè)人員通過后，塵埃附著在玻璃上的樣子。
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吸煙的例子：香煙煙霧的粒子。
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灰塵是如何去除的呢？
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潔凈室的空氣凈化：
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高效過濾器檢漏：
卸下HEPA的散流板，對整個濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描。掃描時(shí)采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復(fù)地進(jìn)行，線條間應(yīng)重疊。檢測過程中，若有報(bào)警聲 （即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏。泄漏處經(jīng)用硅膠堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢。檢查一個過濾器約為5min 左右，在測試的過程中，應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度，注意在檢測過程中應(yīng)帶防護(hù)面罩和防護(hù)眼罩。
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測量送風(fēng)風(fēng)速：
風(fēng)量罩主要由三個部分構(gòu)成：風(fēng)量罩體、基座、PDA構(gòu)成。
風(fēng)量罩體主要用于采集風(fēng)量，將風(fēng)匯集至基礎(chǔ)上的風(fēng)速均勻器上。在風(fēng)速均勻器上裝有熱式傳感器，熱式傳感器將風(fēng)速的變化，再根據(jù)基底的尺寸將風(fēng)量計(jì)算出來.風(fēng)量罩的顯示采用PDA，大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風(fēng)速和風(fēng)量的數(shù)據(jù)。操作簡單，可以設(shè)置記錄時(shí)間間隔進(jìn)行連續(xù)的參數(shù)記錄，以便對數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。測量和記錄的數(shù)據(jù)被記錄在存儲卡上，不會丟失，可以通過計(jì)算機(jī)的串口將數(shù)據(jù)傳遞到PC機(jī)上以及做進(jìn)一步的應(yīng)用。
風(fēng)罩的測量技術(shù)要求：
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壓差檢測：普通潔凈室不同級別逐級之間、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的微壓差一般為5～10Pa，某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴(kuò)散，其進(jìn)入通路的各個房間之間的負(fù)壓差需要維持-10～-30Pa。
根據(jù)**標(biāo)準(zhǔn)GB19489-2008“實(shí)驗(yàn)室、生物安全通用要求”的規(guī)定：相對于大氣壓污染區(qū)為-40Pa，根據(jù)**標(biāo)準(zhǔn)GB50346-2011“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”的規(guī)定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負(fù)壓差為-10Pa。
在各級空氣過濾器處，應(yīng)配置微壓差計(jì)并與過濾器前后的靜壓引出管相連，以便隨時(shí)監(jiān)測氣流通過空氣過濾器的壓力降。有些微壓差計(jì)還備有可調(diào)節(jié)壓差設(shè)定的報(bào)警標(biāo)定值，以便超過規(guī)定壓差時(shí)輸出報(bào)警信號。
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測量溫濕度：電子溫濕度計(jì)因其方便、可靠、便于距離測量等優(yōu)點(diǎn)，在潔凈室檢測、監(jiān)測中廣泛使用。常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應(yīng)電學(xué)儀器，即可測定空氣的相對濕度。
電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。
它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。
氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩(wěn)定性好，使用較普遍。
電容式傳感器：電容式濕度傳感器基本上是一個電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。因?yàn)榻殡娤禂?shù)隨空氣中的相對濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對濕度。
照明：淚滴型照明燈具，嵌入式照明燈具。
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照度測試：照度測試宜采用便攜式數(shù)字照度計(jì)。
潔凈室（區(qū)）照度的檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進(jìn)行；對新熒光燈區(qū)應(yīng)使用100h以上，并在點(diǎn)燃15min后進(jìn)行測試。
照度測試點(diǎn)應(yīng)選擇在工作面高度進(jìn)行，一般宜為0.85m，通道測試高度宜為0.2m；測試點(diǎn)數(shù)量可按每50㎡潔凈室（區(qū)）面積一個點(diǎn)計(jì)算，但每個房間不得少于1點(diǎn)。
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測量靜電：該類測試儀表不直接與帶電體接觸，而是運(yùn)用靜電感應(yīng)的原理，間接測試帶電體的靜電電位。由于這種測試不是直接同帶電體相接觸，因此也稱非接觸式測量。
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靜電感應(yīng)原理：是將測試探頭靠近帶電體，利用探頭與被測帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場測試帶電體的表面電位。
ESD控制= Man(人)+ Machine (機(jī)) + Material (料)+ Method(法)+ Environment(環(huán))。
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風(fēng)淋室設(shè)于無塵室入口處，具有以下功能：
人員管制；AIR LOCK 氣鎖功能，防止交叉污染；
風(fēng)速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設(shè)備、物料、工具的塵埃。
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注：正確使用風(fēng)淋室，能夠減少帶入室內(nèi)的灰塵。正確聽從風(fēng)淋室播音員的指示進(jìn)行操作，夠去除95%的1μ以上的灰塵。
置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：
做為潔凈室內(nèi)外物品傳遞之緩沖區(qū)，其可防止于傳遞物品時(shí)由于門的開啟而破壞了潔凈室氣流與室壓；
可減少作業(yè)人員走動的時(shí)間而防止外區(qū)塵埃的進(jìn)入；
進(jìn)出口具有不可同時(shí)開啟的聯(lián)鎖控制，以達(dá)到防止交叉污染。
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潔凈室的管理四大原則：
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正確穿著潔凈服：
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潔凈室禁止帶入易發(fā)塵物品、數(shù)碼產(chǎn)品、食品、個人物品、不使用物品、未清潔物品及工具等。
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潔凈室必須使用專用物品：
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以Ａ?Ｂ?Ｃ?Ｄ?Ｅ的順序、從上往下進(jìn)行清掃。
清掃區(qū)域要點(diǎn)圖：
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A ：樓承板及天花板上梁清掃：
用無塵布清理灰塵；
